国产光刻机 国产光刻机迎来重大突破

华为与美国摩擦的加重，让越来越多的人开始关注我国芯片领域，光刻机对芯片制造的重要性也被大众所知晓。当前，全球近9成的光刻机市场都被荷兰ASML所垄断，高精度光刻机成为阻碍我国芯片产业更进一步的一大阻碍。经过多年的发展，上海微电子终于在光刻机领域有所突破。

在口罩对准器的核心子系统之一——口罩对准器的工作台上，中国企业华卓精科打破了ASML的垄断。公开资料显示，华卓精科成立于2012年，由清华大学机械工程系教授朱昱领衔，在中国口罩校准器的工作台中完成了从0到1的突破。目前，华卓精科是国内第一家能够自主研发并实现口罩对准器中双工作台领域商业化生产的供应商。

而且华卓精科是全球唯一拥有双工平台核心技术的企业，另一家是ASML。对于中国口罩对准器中工作台行业的发展，外界一直不看好，认为这个体系“太复杂”。然而，华卓精科将变得不可能。当时华卓精科双工作台的核心POMO的出现，让所有人都兴奋不已。

前段时间上海微电子报道将在2021年交付28nm浸没式掩模对准器，让人非常惊讶。上海微电子的背后，离不开华卓精科的支持。值得注意的是，华卓精科除了在口罩对准器的双台架上小有成就外，在超精密测控设备和关键零部件领域已经具备了从R&D、生产到销售的能力。

随着华卓精密实力的增强和产品的不断成熟，其营收也在不断增长。2017年，华卓精密的营收为5410.22万元，到了去年，已经增长到1.2亿元以上，几乎翻了一番。与此同时，华卓精密的净利润也有所增长。但华卓精密最明显的增长是研发投入。

2017年，华卓精密在R&D的投资仅为1663.65万元，次年飙升至8256.56万元。2019年，这一数字增至1.41亿元，甚至高于营收。从精益求精、精准不遗余力的投入，可以看出其对研发重要性的理解。

最近，华卓精密传来好消息。6月24日，上交所正式受理华卓精科在科创板上市申请，结果即将公布。如果卓越和精准能够成功落地，将有利于其未来的发展。

来源：说科技的柯基

图文转载于网络，版权归原作者所有。不代表本微信官方账号的观点。如果涉及版权问题，请联系我们，我们会尽快协商版权问题或删除内容！

原标题：《国产光刻机迎来重大突破》